光掩膜基本品质项目

1.  外观品质

（缺陷、异物、光学浓度不足、透射率不足、划伤、顶伤等）

2.  图形尺寸精度（CD精度）

（也称为短尺寸精度，包括绝对精度、CD均匀性、CD线形等）

3.  图形位置精度（Registration精度）

  ◆   图形总长精度（TP精度，也称为长尺寸精度）

  ◆   图形套合精度（Overlay精度）

  ◆   图形居中精度（Centrality精度）

常见缺陷有以下几种：

以下是光掩膜的基本制作流程：